Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=углеводородная плазма<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-24563
Автор(ы) : Аминев Д.Ф.
Заглавие : Гетероструктуры поликристаллический алмаз/кремний: тепловые свойства структуры и модификация кремния при осаждении алмаза : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : М., 2010
Колич.характеристики :21 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-21. - В надзаг.: Физический ин-т им. П.Н. Лебедева РАН
ГРНТИ : 47.33
УДК : 621.315.592.9(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): гетероструктура--плазмохимический процесс--тепловые свойства--алмазная пленка--углеводородная плазма--кремниевая подложка--подготовка поверхности
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)