Поисковый запрос: (<.>K=травление<.>) |
Общее количество найденных документов : 33
Показаны документы с 1 по 30 |
|
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-2503
Автор(ы) : Сычев С.А.
Заглавие : Плазмохимическое и радикальное травление высокотемпературных сверхпроводящих тонкопленочных YBaCuO структур
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.08
Выходные данные : Омск, 1997
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : В надзаг.Омский гос. ун-т.Библиогр.:с. 14-16(20 назв.)
ГРНТИ : 47.09.39 + 47.14.11
УДК : 621.315.5-973(043) + 621.315.002.6-973(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР98-4459
Автор(ы) : Гоголадзе И.А.
Заглавие : Кислотное травление растровых клише из магний-кальциевого сплава
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.15
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :15 с
Примечания : В надзаг. Моск.гос.ун-т печати: Библиогр.:с. 14-15(14назв.)
ГРНТИ : 60.29.15
УДК : 655.225(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР99-1936
Автор(ы) : Марогулова Н.Н.
Заглавие : Кислотное травление штампов из магний-кальциевого сплава
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.02.15
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :15 с
Примечания : В надзаг. : Моск.гос.ун-т печати. Библиогр.:с. 13-15(14назв.)
ГРНТИ : 60.29.15
УДК : 655.225(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР00-4670
Автор(ы) : Рыбачек Е.Н.
Заглавие : Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.01
Выходные данные : М., 1998
Колич.характеристики :27 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.:с. 25-27(12 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.771.14.002:621.79(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР91-05742
Автор(ы) : Гусев А.В.
Заглавие : Реактивное ионно-плазменное травление пленок алюминия для производства микросхем
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01
Выходные данные : М., 1990
Колич.характеристики :20 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 19-20(9 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.3.049.77.002:621.794(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : АР90-020739
Автор(ы) : Темерев С.В.
Заглавие : Химическое и электрохимическое травление и полирование поверхности InSb, InAs в неводных средах
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.18
Выходные данные : Томск, 1990
Колич.характеристики :17 с.:
ил.
Примечания : В надзаг. : Том. гос. ун-т им.В.В.Куйбышева. Библиогр.:с. 16-17(14 назв.)
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.315.592.002(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар03-8222
Автор(ы) : Абрамова Е.А.
Заглавие : Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Воронеж, 2003
Колич.характеристики :16 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.315.592.002:621.794(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар03-5521
Автор(ы) : Жимулев Е.И.
Заглавие : Травление кристаллов алмаза в силикатных системах при высоких Р-Т параметрах
: автореф. дис. ... канд. геол.-минерал. наук : 25.00.05
Выходные данные : Новосибирск, 2002
Колич.характеристики :21 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 19-21(21 назв.)
ГРНТИ : 38.35.21
УДК : 549.211:54(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар08-3215
Автор(ы) : Гулевский С.А.
Заглавие : Жидкометаллическое травление тройных стыков зерен в системе Cu-Bi
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : М., 2008
Колич.характеристики :24 с:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-24(11 назв.)
ГРНТИ : 53.49.03
УДК : 669.017.12(043)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-24699
Автор(ы) : Можаев А.В.
Заглавие : Динамическая модель процессов формирования трехмерных кластеров в кремнии
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Ярославль, 2010
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 14-17
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.315.592:621.794(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пористый кремний--электрохимическое травление--плавиковая кислота--компьютерное моделирование--трехмерные кластеры
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
11.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-27389
Автор(ы) : Смирнов А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом
: автореф. дис. ... канд. физ.-м ат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2010
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (11 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--плазменное травление--галогенводороды--аргон--гелий--водород--неравновесная низкотемпературная плазма--физико-химические процессы--моделирование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
12.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-28763
Автор(ы) : Амиров И.И.
Заглавие : Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств
: автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : М., 2010
Колич.характеристики :45 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 + 81.13.30
УДК : 621.3.049.76-047.84(043) + 621.38-022.532(043) + 620.3(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноэлектроника--микросистемотехника--нанотехнология--плазмохимическое травление--плазмохимическое осаждение
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
13.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-69
Автор(ы) : Прозоров Д.А.
Заглавие : Реакционная способность индивидуальных форм водорода, адсорбированного на поверхности скелетных никелевых катализаторов, в реакциях жидкофазной гидрогенизации малеата натрия и 4-нитрофенолята натрия
: автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2010
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.)
ГРНТИ : 31.21.29
УДК : 547.253.3:542.941.7(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): каталитические яды--механизм лэнгмюра-хиншельвуда--дезактивация--травление--жидкостные реакторы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
14.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-4852
Автор(ы) : Гуляев В.В.
Заглавие : Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Воронеж, 2011
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (16 назв.)
ГРНТИ : 81.37.13
УДК : 681.7.02(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптические материалы--ниобат лития--обработка--плазмохимическое травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
15.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-7956
Автор(ы) : Волошин Д.Г.
Заглавие : Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23. - В надзаг.: МГУ им. М.В. Ломоносова, НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына
ГРНТИ : 55.20.15
УДК : 621.9.048.7(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): материалы--плазменное травление--плазмохимические процессы--кинетика ионов--кинетика электронов
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
16.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-9254
Автор(ы) : Лямин А.Н.
Заглавие : Разработка и исследование наноструктурированных поверхностей полимеров для электроники и медицины
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-22
ГРНТИ : 47.09.51 + 76.09.41
УДК : 621.38-03(043) + 615.462:678(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полимерные материалы--электронная техника--медицина--наноструктурированные поверхности--ионно-плазменное травление--наноразмерные углеродсодержащие покрытия--полимерные наноструктуры--физико-химические свойства--медико-биологические свойства
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
17.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-13927
Автор(ы) : Тупик В.А.
Заглавие : Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.16.09
Выходные данные : СПб., 2011
Колич.характеристики :35 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 30-35 (44 назв.)
ГРНТИ : 53.49.01
УДК : 669.017:539.216.2-022.532(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металлические пленки наноразмерные--медные пленки--титановые пленки--фрактальная структура--методы синтеза--ионное магнетронное распыление--нанолитография--химическое травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
18.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-15466
Автор(ы) : Акимова В.М.
Заглавие : Дефектная структура и влияние примеси неодима на оптические свойства кристаллов калий-гадолиниевого вольфрамата
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Челябинск, 2011
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16-17
ГРНТИ : 47.09.47
УДК : 621.373.826.038.825(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазеры твердотельные--лазерные кристаллы--активные примеси--оптимальная концентрация--дефектная структура--оптические свойства--гидротермальное травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
19.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-1287
Автор(ы) : Кочнев Ю.К.
Заглавие : Трековые мембраны с асимметричными порами на основе доориентированных ПЭТФ пленок
: автореф. дис. ... канд. хим. наук : 05.17.06
Выходные данные : М., 2012
Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-24 (14 назв.)
ГРНТИ : 61.31.57
УДК : 661.183.123(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мембранные технологии--ориентационная вытяжка--химическое травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
20.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-4409
Автор(ы) : Песков В.В.
Заглавие : Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04
Выходные данные : Фрязино, 2012
Колич.характеристики :25 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-25
ГРНТИ : 47.13.11
УДК : 621.382-022.532-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноэлектронные приборы--производство--травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
21.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-7123
Автор(ы) : Силкин С.А.
Заглавие : Анодное растворение упрочняющих покрытий (хромовых, CoW, полученных электрохимико-термической обработкой) в условиях электрохимической микрообработки
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.03
Выходные данные : Иваново, 2012
Колич.характеристики :17 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 14-16
ГРНТИ : 55.22.19
УДК : 621.357.8(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): металлы--упрочнение--анодное травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
22.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-11315
Автор(ы) : Денисов И.С.
Заглавие : Роль тонкого строения перлита железоуглеродистых сплавов в их анодном и саморастворении в перхлоратной среде
: автореф. дис. ... канд. хим. наук : 05.17.03
Выходные данные : Тамбов, 2012
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (20 назв.)
ГРНТИ : 55.22.19
УДК : 621.357.8:669.11(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): железоуглеродистые сплавы--электрохимическое травление--химическое травление--анодное поведение
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
23.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-13046
Автор(ы) : Юдина А.В.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме смесей HCl с инертными (Ar, He) и молекулярными (H2, Cl2) газами
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2012
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (10 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.76-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектронные приборы--производство--плазмохимическое травление--параметры плазмы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
24.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-22890
Автор(ы) : Капинос С.П.
Заглавие : Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия
: автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2012
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (9 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.315.592:621.794(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): арсенид галлия--плазменное травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
25.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-5226
Автор(ы) : Курочка А.С.
Заглавие : Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2013
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 22-24 (16 назв.)
ГРНТИ : 47.01.81
УДК : 621.315.592.9-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): мдп-структуры--травление--технический контроль
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
26.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-5184
Автор(ы) : Давлятшина А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2013
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (7 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--плазмохимическое травление--контроль параметров плазмы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
27.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-6612
Автор(ы) : Комленок М.С.
Заглавие : Лазерная наноабляция аморфных и нанокристаллических углеродных пленок
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.21
Выходные данные : М., 2013
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23
ГРНТИ : 61.31.51
УДК : 661.666-022.532-416:621.373.8(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): углеродные алмазоподобные пленки--лазерное облучение--травление (абляция)
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
28.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-сф12881
Автор(ы) : Кондратьева Е.С.
Заглавие : Разработка экстрагента и процесса экстракционного извлечения ионов меди и других d-элементов из аммиачных сред
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04
Выходные данные : М., 2013
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (7 назв.)
ГРНТИ : 53.37.13
УДК : 669.2/.8.053.4(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): цветные металлы--гидрометаллургия--печатные платы--травление
Экземпляры :СФ(1)
Свободны : СФ(1)
Найти похожие
|
29.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-14856
Автор(ы) : Ли Г.В.
Заглавие : Технология и оптические свойства фотонно-кристаллических структур на основе макропористого кремния
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : СПб., 2013
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 22 (12 назв.)
ГРНТИ : 47.57
УДК : 621.384.3-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): инфракрасная техника--кремниевые структуры--фотоэлектрохимическое травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
30.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар14-79
Автор(ы) : Матасов М.Д.
Заглавие : Влияние спектрального состава света и фазового полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : Саратов, 2013
Колич.характеристики :16 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 14-16
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.315.592:669.046.516(043) + 621.315.592:621.794(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): фотоионизация--полупроводники--травление--легирование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных