Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=плазменное травление<.>)
Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3
1.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-27389
Автор(ы) : Смирнов А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореф. дис. ... канд. физ.-м ат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2010
Колич.характеристики :16 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (11 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные микросхемы--плазменное травление--галогенводороды--аргон--гелий--водород--неравновесная низкотемпературная плазма--физико-химические процессы--моделирование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
2.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-7956
Автор(ы) : Волошин Д.Г.
Заглавие : Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :23 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23. - В надзаг.: МГУ им. М.В. Ломоносова, НИИ ядерной физики им. Д.В. Скобельцына
ГРНТИ : 55.20.15
УДК : 621.9.048.7(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): материалы--плазменное травление--плазмохимические процессы--кинетика ионов--кинетика электронов
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
3.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-22890
Автор(ы) : Капинос С.П.
Заглавие : Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2012
Колич.характеристики :16 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 15-16 (9 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33
УДК : 621.315.592:621.794(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): арсенид галлия--плазменное травление
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)