Web ИРБИС

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Российский сводный каталог по научно-технической литературе

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=многослойные зеркала<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-11622
Автор(ы) : Малыхин Е.М.
Заглавие : Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08
Выходные данные : М., 2011
Колич.характеристики :24 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 23-24
ГРНТИ : 47.13.35
УДК : 621.3.049.771.14-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): оптическая литография--ультрафиолетовое излучение--интегральные схемы сверхбольшие--литографы--многослойные зеркала--срок службы--загрязнение--очистка--физические механизмы--взаимодействие плазмы с поверхностью
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие

Тематический навигатор

Статистика обращений

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)