Поисковый запрос: (<.>K=микроэлектромеханические системы<.>) |
Общее количество найденных документов : 10
Показаны документы с 1 по 10 |
1. 
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-27785
Автор(ы) : Ляпунов Д.Ю.
Заглавие : Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.01
Выходные данные : Томск, 2010
Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-21 (27 назв.)
ГРНТИ : 45.53
УДК : 621.314-181.4(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--датчики--микродвигатели--тонкопленочные технологии--электромеханические характеристики--микроэлектромеханические преобразователи энергии
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
2.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар10-29200
Автор(ы) : Калинин М.А.
Заглавие : Измерительные цепи емкостных МЭМС-датчиков для ракетно-космической техники
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.01
Выходные данные : Пенза, 2010
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 20-22 (17 назв.)
ГРНТИ : 55.49.45
УДК : 629.78.05(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): ракетно-космическая техника--микроэлектромеханические системы--датчики емкостные--метрологические характеристики--измерительные цепи--дифференциальный кремниевый микроконденсатор
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
3.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-6604
Автор(ы) : Ермаков В.А.
Заглавие : Исследование структурно-химических параметров тонких пленок, наностеклокерамики и многослойных нанографитов методами спектроскопии комбинационного рассеяния света
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05
Выходные данные : СПб., 2011
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-19
ГРНТИ : 29.33.35
УДК : 535.375.54(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноразмерные материалы--наноструктурированные материалы--микроэлектроника--микроэлектромеханические системы--спектры
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
4.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-13474
Автор(ы) : Чернов П.С.
Заглавие : Математическое моделирование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.18
Выходные данные : Пенза, 2011
Колич.характеристики :22 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-22 (36 назв.)
ГРНТИ : 59.37.33
УДК : 681.586'326-047.58(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчики давления--тонкопленочные наноэлектромеханические системы--микроэлектромеханические системы--математическое моделирование--численные методы--физические процессы--чувствительность--погрешности
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
5.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-21134
Автор(ы) : Пчелинцева Е.С.
Заглавие : Моделирование и исследование бетавольтаического эффекта на кремниевых PIN структурах
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10
Выходные данные : Ульяновск, 2011
Колич.характеристики :21 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 18-21
ГРНТИ : 47.59.39
УДК : 621.039.557-181.4(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): источники питания радиоизотопные--микроэлектромеханические системы--полупроводниковые приборы--бета-источники--долгоживущие радионуклиды
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
6.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар11-23039
Автор(ы) : Дайнеко А.В.
Заглавие : Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
Выходные данные : Тверь, 2011
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 22-23 (7 назв.)
ГРНТИ : 45.53
УДК : 621.31-181.4-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--сегнетокерамические пленки--кремниевые пластины--производство--автоматизация--моделирование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
7.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-11180
Автор(ы) : Терехин И.В.
Заглавие : Исследование и разработка детектора по теплопроводности на основе МЭМС-технологии для газовой хроматографии
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.13
Выходные данные : М., 2012
Колич.характеристики :24 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (8 назв.)
ГРНТИ : 31.15.35
УДК : 543.544.3(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): газовая хроматография--микроэлектромеханические системы--детектор по теплопроводности--технические характеристики
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
8.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар12-16553
Автор(ы) : Вопилкин Е.А.
Заглавие : Туннельные и эмиссионные акселерометры на основе микроэлектромеханических систем
: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01
Выходные данные : Н.Новгород, 2012
Колич.характеристики :19 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 17-19
ГРНТИ : 59.31.31
УДК : 531.768(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): акселерометры--базовые элементы--микроэлектромеханические системы--технологии--экспериментальное исследование
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
9.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-8226
Автор(ы) : Степанов А.С.
Заглавие : Разработка моделей и исследование динамики микромеханических устройств с электростатическим накатом упругих лент
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.02.06
Выходные данные : М., 2013
Колич.характеристики :20 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 19-20 (17 назв.)
ГРНТИ : 45.53
УДК : 621.31-181.4(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектромеханические системы--реверсивные микродвигатели вращения--сенсорные устройства
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
10.
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-11110
Автор(ы) : Москалев С.А.
Заглавие : Полупроводниковые микроэлектромеханические системы датчиков давления с улучшенными техническими характеристиками
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05
Выходные данные : Пенза, 2013
Колич.характеристики :23 с.:
ил
Примечания : Библиогр.: с. 21-23 (22 назв.)
ГРНТИ : 59.37.33
УДК : 681.586'33(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчики давления--микроэлектромеханические системы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
|
|
|
|
Главная страница
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Описание базы данных