Главная страница

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Российский сводный каталог по научно-технической литературе
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=контроль параметров плазмы<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : Ар13-5184
Автор(ы) : Давлятшина А.А.
Заглавие : Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04
Выходные данные : Иваново, 2013
Колич.характеристики :16 с.: ил
Примечания : Библиогр.: с. 16 (7 назв.)
ГРНТИ : 47.33.31
УДК : 621.3.049.77-047.84(043)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы--плазмохимическое травление--контроль параметров плазмы
Экземпляры :ХР(1)
Свободны : ХР(1)
Найти похожие
 
Описание базы данных
Стандартный
Расширенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
Тематический навигатор
Статистика обращений
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)