Web ИРБИС

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=катодное распыление<.>)

Общее количество найденных документов : 3
Показаны документы с 1 по 3

Щелканов И.А. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы/И. А. Щелканов. - 2011

Гурских А.В. Разработка спеченных Ti - Cu, Ti - Si катодов для ионно-плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий/А. В. Гурских. - 2012

Болбуков В.П. Генерация многокомпонентных потоков частиц в тлеющем разряде с полым катодом/В. П. Болбуков. - 2014

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)