Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 543.08/C64 Автор(ы) : Graf M., Baltes H.P., Barrettino D., Hierlemann A. Заглавие : CMOS hotplate chemical microsensors [Electronic resource] Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2007 Коллективы : SpringerLink (Online service) Серия: Microtechnology and mems, ISSN 1615-8326 Вид и объем ресурса: Electronic text data ISBN, Цена 978-3-540-69562-2: Б.ц. ГРНТИ : 50.09.37 УДК : 543.08 Предметные рубрики: Датчики химические См. : Текст издания Доп.точки доступа: Graf, M.; Baltes, H.P.; Barrettino, D.; Hierlemann, A.; SpringerLink (Online service)