|
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 621.3.049.76(063)/T80
Заглавие : Towards synthesis of micro-/nano-systems [Electronic resource]
: the 11th International conference on precision engineering (ICPE) August 16-18, 2006, Tokyo, Japan
Выходные данные : London : Springer-Verlag, 2007
Коллективы :
SpringerLink (Online service)
Вид и объем ресурса: Electronic text data
ISBN, Цена 1-84628-559-3: Б.ц.
ГРНТИ : 47.33.37 + 47.13.11
УДК : 621.3.049.76(063) + 620.3(063)
Предметные рубрики: Микроэлектроника-- Съезды и конференции
Нанотехнологии-- Съезды и конференции
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Kimura, F. \ed.\; SpringerLink (Online service)
|
|