|
|
Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 546.28(063)/S60
Заглавие : Silicon science and advanced micro-device engineering II [Electronic resource]
: sel., peer rev. papers from the 6th intern. symp. on silicon science and 2nd intern. conf. on advanced micro-device eng., Dec. 9-10, 2010, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan
Выходные данные : Stafa-Zurich: Trans tech publ., 2012
Колич.характеристики : on-line
Коллективы :
International symposium on silicon science (6; 2010; Kiryu), International conference on advanced micro-device engineering (2; 2010; Kiryu)
Серия: Key engineering materials, ISSN 1662-9795; Vol. 497
Вид и объем ресурса: Electronic text data
Примечания : Загл. с экрана
ISBN, Цена 978-3-03813-682-8: Б.ц.
ГРНТИ : 31.17.15 + 47.09.29 + 47.13.11
УДК : 546.28(063) + 621.315.592(063) + 621.3.049.76-047.84(063)
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--микроэлектронные приборы--производство--конференции
Экземпляры :нто3(1)
Свободны : нто3(1)
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Hanairumi, O. \ed.\; International symposium on silicon science (6 ; 2010 ; Kiryu)International conference on advanced micro-device engineering (2 ; 2010 ; Kiryu)
|
|