Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.315.592.9/F95 Автор(ы) : Fruhauf J. Заглавие : Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique [Electronic resource] : a manual of wet-etched silicon structures Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005 Коллективы : SpringerLink (Online service) Вид и объем ресурса: Electronic text data ISBN, Цена 978-3-540-26876-5: Б.ц. ГРНТИ : 47.09.29 УДК : 621.315.592.9 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремниевые структуры См. : Текст издания Доп.точки доступа: SpringerLink (Online service)