Вид документа : Монографическая серия
Шифр издания :
Заглавие : Laser precision microfabrication [Electronic resource]
Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2010
Коллективы : SpringerLink (Online service)
Серия: Springer series in materials science, ISSN 0933-033X; 135
Вид и объем ресурса: Electronic text data
ISBN, Цена 978-3-642-10523-4: Б.ц.
Предметные рубрики: Physics
Nanotechnology
Physics
Laser technology, photonics
Nanotechnology
См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Sugioka, K. \ed.\; SpringerLink (Online service)