Вид документа : Монографическая серия Шифр издания : 621.315.592.9/S38 Автор(ы) : Schulze J. Заглавие : Konzepte siliziumbasierter mos-bauelemente [Electronic resource] Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005 Коллективы : SpringerLink (Online service) Серия: Halbleiter-Elektronik, ISSN 0172-5882; 23 Вид и объем ресурса: Electronic text data ISBN, Цена 978-3-540-27547-3: Б.ц. ГРНТИ : 47.33 УДК : 621.315.592.9 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремний--моп-структуры См. : Текст издания Доп.точки доступа: SpringerLink (Online service)