|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания :
Автор(ы) : Adams T.M., Layton R.A.
Заглавие : Introductory mems [Electronic resource]
: fabrication and applications
Выходные данные : Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010 Коллективы :
SpringerLink (Online service)
Вид и объем ресурса: Electronic text data
ISBN, Цена 978-0-387-09511-0: Б.ц.
Предметные рубрики: Engineering Mechanics Materials Electronics Systems engineering Surfaces (physics) Engineering Electronics and microelectronics, instrumentation Circuits and systems Mechanics Surfaces and interfaces, thin films Continuum mechanics and mechanics of materials
См. : Текст издания Доп.точки доступа: Layton, R.A.; SpringerLink (Online service)
|
|