Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания :
Автор(ы) : Adams T.M., Layton R.A.
Заглавие : Introductory mems [Electronic resource] : fabrication and applications
Выходные данные : Boston, Ma : Springer Science+Business Media LLC, 2010
Коллективы : SpringerLink (Online service)
Вид и объем ресурса: Electronic text data
ISBN, Цена 978-0-387-09511-0: Б.ц.
Предметные рубрики: Engineering
Mechanics
Materials
Electronics
Systems engineering
Surfaces (physics)
Engineering
Electronics and microelectronics, instrumentation
Circuits and systems
Mechanics
Surfaces and interfaces, thin films
Continuum mechanics and mechanics of materials
См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Layton, R.A.; SpringerLink (Online service)