Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 543.08/H65 Автор(ы) : Hierlemann A. Заглавие : Integrated chemical microsensor systems in CMOS technology [Electronic resource] Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005 Коллективы : SpringerLink (Online service) Серия: Microtechnology and mems, ISSN 1615-8326 Вид и объем ресурса: Electronic text data ISBN, Цена 978-3-540-27372-1: Б.ц. ГРНТИ : 50.09.37 УДК : 543.08 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): датчики химические См. : Текст издания Доп.точки доступа: SpringerLink (Online service)