|
|
Вид документа : Монографическая серия
Шифр издания : 621.315.592.9/S38
Автор(ы) : Schubert M.
Заглавие : Infrared ellipsometry on semiconductor layer structures [Electronic resource]
: phonons, plasmons, and polaritons
Выходные данные : Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005
Коллективы :
SpringerLink (Online service)
Серия: Springer tracts in modern physics, ISSN 0081-3869; 209
Вид и объем ресурса: Electronic text data
ISBN, Цена 3-540-23249-4: Б.ц.
ГРНТИ : 47.01.77
УДК : 621.315.592.9
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): полупроводниковые структуры--инфракрасная эллипсометрия
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
|
|