|
|
621.31-181.4
E43
Electroceramic-based mems [Electronic resource] : fabrication-technology and applications / ed. N. Setter. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer Science + Business Media Inc., 2005. - (Electronic materials: science and technology, ISSN 1386-3290 ; 9). - ISBN 978-0-387-23319-2 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектромеханические системы
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Setter, N. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|