|
|
621.3.049.76(063)
T80
Towards synthesis of micro-/nano-systems [Electronic resource] : the 11th International conference on precision engineering (ICPE) August 16-18, 2006, Tokyo, Japan / ed. : F. Kimura, K. Horio. - Electronic text data. - London : Springer-Verlag, 2007. - ISBN 1-84628-559-3 : Б. ц.
Рубрики: Микроэлектроника--Съезды и конференции
Нанотехнологии--Съезды и конференции
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Kimura, F. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|