|
|
621.315.592.9
F95
Fruhauf, J.
Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique [Electronic resource] : a manual of wet-etched silicon structures / J. Fruhauf. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - ISBN 978-3-540-26876-5 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные):
кремниевые структуры
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|