621.315.592
O-97


   
    Oxide and nitride semiconductors [Electronic resource] : processing, properties, and applications / ed. T. Yao. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2009. - (Advances in materials research, ISSN 1435-1889 ; 12). - ISBN 978-3-540-88847-5 : Б. ц.

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
оксиды -- нитриды -- полупроводники -- обработка -- свойства -- применения

См. : Текст издания

Доп.точки доступа:
Yao, T. \ed.\; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет