621.31-181.4 L24     Lang, J.     Multi-Wafer rotating mems machines [Electronic resource] : turbines, generators, and engines / J. Lang. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2009. - (MEMS reference shelf, ISSN 1936-4407). - ISBN 978-0-387-77747-4 : Б. ц. ГРНТИ 45.53 УДК 621.31-181.4 Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы вращающиеся -- турбины -- генераторы -- двигатели См. : Текст издания Доп.точки доступа: SpringerLink (Online service) Свободных экз. нет