|
|
681.586
L12
Laconte, J.
Micromachined thin-film sensors for SOI-CMOS co-integration [Electronic resource] / J. Laconte, D. Flandre, J. -P. Raskin. - Electronic text data. - Boston, Ma : Springer, 2006. - ISBN 0-387-28843-0 : Б. ц.
Рубрики: Датчики
Кремниевые структуры
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Flandre, D.; Raskin, J.-P.; SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|