|
|
621.3.049.76-047.84(063)
M65
Micro-nano technology XIII [Electronic resource] : sel., peer rev. papers from the 13th annu. conf. of Chin. soc. of micro-nano technology, Sept. 28-30, 2011, Changchow, China / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13; 2011; Changchow) ; ed. X. Wang. - Electronic text data. - Stafa-Zurich : Trans tech publ., 2012. - on-line. - (Key engineering materials, ISSN 1662-9795 ; vol. 503). - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-03813-689-7 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- производство -- нанотехнологии -- конференции
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
Wang, X. \ed.\; Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow)
Экземпляры всего 1: нто3 (1)
Свободны: нто3 (1)
|
|