|
|
621.9.04:533.9
F85
Franz, G.
Low pressure plasmas and microstructuring technology [Electronic resource] / G. Franz. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer-Verlag, 2009. - ISBN 978-3-540-85849-2 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные):
плазма низкого давления -- микроструктурирование -- технология
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|