621.793.184/N25-404101     Nastasi, M.     Ion implantation and synthesis of materials [Electronic resource] / M. Nastasi, J. W. Mayer. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2006. - ISBN 978-3-540-45298-0 : Б. ц. ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.3.049.77.002:669 Кл.слова (ненормированные): ионное внедрение -- электронные материалы -- кремниевые интегральные схемы -- производство -- эпитаксия -- магнетронное распыление См. : Текст издания Доп.точки доступа: Mayer, J.W.; SpringerLink (Online service) Свободных экз. нет