|
|
621.315.592.9
S38
Schubert, M.
Infrared ellipsometry on semiconductor layer structures [Electronic resource] : phonons, plasmons, and polaritons / M. Schubert. - Electronic text data. - Berlin ; Heidelberg : Springer, 2005. - (Springer tracts in modern physics, ISSN 0081-3869 ; 209). - ISBN 3-540-23249-4 : Б. ц.
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые структуры -- инфракрасная эллипсометрия
См. : Текст издания
Доп.точки доступа:
SpringerLink (Online service)
Свободных экз. нет
|
|