Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Автор(ы) : Паперный, Виктор Львович, Черных, Алексей Андреевич, Шипилова, Ольга Ивановна Заглавие : Введение в ионно-плазменные технологии создания поверхностных наноразмерных структур : учебно-методическое пособие Выходные данные : Иркутск: Изд-во ИГУ, 2023 Колич.характеристики :163с.: ил. Коллективы : Иркутский государственный университет. Физический факультет Примечания : ; Библиогр.: с. 151-152 ISBN, Цена 978-5-9624-2120-9: р150 р. ГРНТИ : ; 47.13.33 + ; 47.13.07 + ; 29.19.16 УДК : + Предметные рубрики: Наноэлектронные устройства Пленки Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): 1 ; вакуумная техника--1 ; наноразмерные пленки--1 ; тонкие пленки--1 ; термическое испарение в вакууме--1 ; методы создания--1 ; металлические пленки--1 ; магнетронное распыление--1 ; оптические характеристики--1 ; электрические характеристики--1 ; измерение толщины--1 ; диагностика плазмы--1 ; щелочно-галоидные кристаллы--1 ; ионно-плазменная модификация--1 ; плазмохимическое травление--1 ; ионная имплантация Содержание : Доп.точки доступа: Черных, Алексей Андреевич; Шипилова, Ольга Ивановна; Иркутский государственный университет. Физический факультет