Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Автор(ы) : Семенов А.П. Заглавие : Пучки распыляющих ионов: получение и применение Выходные данные : Улан-Удэ: Изд-во БНЦ СО РАН, 1999 Колич.характеристики :207 с.: ил. Примечания : ; Библиогр.:с.186-206. - В надзаг.:Рос. АН, Сибир. отд-ние, Бурят. науч. центр, Отд. физ. проблем. Цена : Б.ц. ГРНТИ : ; 29.35.37 + ; 29.19.16 УДК : + Предметные рубрики: Ионные источники Пленки