Handbook of plasma immersion ion implantation and deposition [Текст] : монография / Ed. by Anders Andre. - New York etc. : Wiley, 2000. - XXIII, 736 с. : ил., табл. - ^aБиблиогр. в конце глав. - ISBN 0-471-24698-0 : Б. ц. ; Указ. : с. 727-736 Перевод заглавия: 0 ^aСправочник плазменной иммерсионной имплантации и осаждения.    Перевод заглавия: 0 ^aСправочник плазменной иммерсионной имплантации и осаждения. ГРНТИ ^a29.19.25 ^a55.20.01 УДК ^a538.97:537.534(03) ^a621.793.74(03) ^a621.791.18(03) Доп.точки доступа: Anders, Andre \.\ Свободных экз. нет