Борисов, А. М.
Физические основы ионно-лучевых технологий [Text] : учеб. пособие / А. М. Борисов, Е. С. Машкова. - М. : Университетская книга, 2011. - 141 с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 141 (1 назв.). -
ISBN
978-5-91304-196-8 : Б. ц.
ГРНТИ
^a29.35.37
^a55.20.15
УДК
^a537.533
^a621.9.048.7
Рубрики:
Эмиссия ионная
Эмиссия электронная
Электронно-ионная обработка
Свободных экз. нет