Advances in resist technology and processing II [Text] / Ed.: Thompson L.F. - Bellingham, (WA) : SPIE, 1985. - 356 с. - (SPIE conf. proc., 539). - ISBN 0-82252-574-6 : Б. ц. Перевод заглавия: 0 ^aДостижения в области обработки и технологии защитных слоев, 2    Перевод заглавия: 0 ^aДостижения в области обработки и технологии защитных слоев, 2 ГРНТИ ^a55.22 УДК ^a667.6 ^a681.7.03/.04 Доп.точки доступа: Thompson, L.F Свободных экз. нет