Advanced semiconductor processing and characterization of electronic and optical materials [Text] : conf. proc. Jan. 1984, Los Angeles(Ca) / Sadana D.K; Lampert C.M. - Bellingham(Wash.) : [s. n.], 1984. - 153 с. - (SPIE. Vol.463). - ISBN 0-89252-498-7 : Б. ц. Перевод заглавия: 0 ^aСовременная обработка полупроводников и характеристика электронных и оптических материалов. Труды конференции, Лос-Анжелес, Калифорния, США, январь 1984 г    Перевод заглавия: 0 ^aСовременная обработка полупроводников и характеристика электронных и оптических материалов. Труды конференции, Лос-Анжелес, Калифорния, США, январь 1984 г ГРНТИ ^a29.19.27 УДК ^a537.311 ^a681.7.03/.04 ^a621.315.5 Доп.точки доступа: Sadana, D.K; Lampert, C.M Свободных экз. нет