Micromachining of elements with optical and other submicrometer dimensional and surface specifications [Text] : proc. of the meet., 2-3 Apr. 1987, The Hague / Ed.: M. Weck. - Bellingham (Wa) : [s. n.], 1987. - 8, 159 с : ил. - (SPIE seminar proc./Soc. of photooptical instrumentation engineers ; n 803). - ISBN 0-89252-838-9 : Б. ц. ; Библиогр. в конце ст. -Указ.: с. 159 Перевод заглавия: 0 ^aМикромеханическая обработка элементов с использованием оптических и других субмикрометрических размерных и поверхностных спецификаций:Труды совещания. Гаага, апрель 1987    Перевод заглавия: 0 ^aМикромеханическая обработка элементов с использованием оптических и других субмикрометрических размерных и поверхностных спецификаций:Труды совещания. Гаага, апрель 1987 ГРНТИ ^a81.37.13 УДК ^a681.7.02(063) Кл.слова (ненормированные): 0 ; микромеханическая обработка; оптические субмикрометрические размеры; поверхностные спецификации Доп.точки доступа: Weck, M. \.\ Свободных экз. нет