Боков, Юрий Сергеевич.     Многослойные пленки резистов в микролитографии [Text] : по данным отечеств. и зарубеж. печати за 1975-1985 гг. / Ю. С. Боков, В. М. Фролов. - М. : [s. n.], 1985. - 63 с. - Б. ц. УДК ^a621.3.049.77.002(048.8)^v3^zrus ^a776(048.8)^v3^zrus Рубрики: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА    ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА    МИКРОЛИТОГРАФИЯ    ТОНКИЕ ПЛЕНКИ    МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.)    РЕЗИСТЫ Доп.точки доступа: Фролов, В. М. Свободных экз. нет