Симонов, Борис Михайлович.     Лабораторная работа №18. Изучение конструкции и технологии изготовления микромеханических акселерометров емкостного типа [Text] : учебное пособие / Б. М. Симонов, О. М. Бритков, С. П. Тимошенков ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2020. - 48с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 43 (6 назв.). - р20 р.     Содержание: ГРНТИ ^a59.31.31 УДК ^a531.768(076.5) Рубрики: Акселерометры Кл.слова (ненормированные): 1 ; газовое демпфирование -- 1 ; проямоугольные контактные площадки -- 1 ; статорные пластины -- 1 ; подвижная часть -- 1 ; расчет значения перекоса Доп.точки доступа: Бритков, Олег Михайлович; Тимошенков, Сергей Петрович; "МИЭТ", национальный исследовательский университет ((Москва)) Свободных экз. нет