Семенов, А. П.

    Пучки распыляющих ионов: получение и применение [Text] : монография / А. П. Семенов. - Улан-Удэ : Изд-во БНЦ СО РАН, 1999. - 207 с. : ил. - ^aБиблиогр.:с.186-206. - Б. ц.
В надзаг.:Рос. АН, Сибир. отд-ние, Бурят. науч. центр, Отд. физ. проблем.

ГРНТИ
УДК
Рубрики: Ионные источники
   Пленки


Свободных экз. нет