Карасева, Т. В.     Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей [Text] : учеб. пособие / Т. В. Карасева ; Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева. - Н. Новгород : Нижегород. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева, 2014. - 126с. : ил. - ^aБиблиогр.: с. 111-112 (17 назв.). - ISBN 978-5-502-00454-1 : Б. ц. ГРНТИ ^a47.09.29 ^a59.31.31 ^a59.37.33 УДК ^a621.315.592 ^a531.768-047.56 ^a681.5.86'33-047.56 Рубрики: Кремний    Акселерометры    Датчики давления Доп.точки доступа: Нижегородский гос. технический ун-т им. Р. Е. Алексеева Свободных экз. нет