Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Д9-10/78052 Заглавие : Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. Выходные данные : М.: МИЭТ, 2010 Колич.характеристики :195 с.: ил Коллективы : Московский гос. ин-т электронной техники Примечания : Библиогр. в конце отд. ст. ISBN, Цена 978-5-7256-0612-6: Б.ц. ГРНТИ : 87.15.15 УДК : 504.5 Предметные рубрики: Окружающая среда-- Загрязнение и защита от него Аннотация: Представлены результаты исследований по проблемам контроля технологий, веществ, материалов и изделий в микро- и наноэлектронике. Основное внимание уделено проблемам мониторинга окружающей среды, созданию и исследованию приборов контроля различных сред. Экземпляры : эко(1) Свободны : эко(1) Доп.точки доступа: Каракеян, В.И. \ред.\; Московский гос. ин-т электронной техники