Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-2335 Автор(ы) : Каратунов Ю.В. Заглавие : Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :27 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 27 (8 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)