|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар04-2335
Автор(ы) : Каратунов Ю.В.
Заглавие : Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники
: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06
Выходные данные : М., 2003 Колич.характеристики :27 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 27 (8 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|