Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар03-9483 Автор(ы) : Саркаров Т.Э. Заглавие : Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 Выходные данные : Нальчик, 2002 Колич.характеристики :30 с Примечания : Библиогр.: с. 28-30 (30 назв.) ГРНТИ : 47.09.31 + 47.13.11 УДК : 621.315.61-416.002(043) + 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)