|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар03-9483
Автор(ы) : Саркаров Т.Э.
Заглавие : Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники
: автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01
Выходные данные : Нальчик, 2002 Колич.характеристики :30 с
Примечания : Библиогр.: с. 28-30 (30 назв.)
ГРНТИ : 47.09.31 + 47.13.11 УДК : 621.315.61-416.002(043) + 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|