Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ар03-3642 Автор(ы) : Белянин А.Ф. Заглавие : Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структ ур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 Выходные данные : М., 2002 Колич.характеристики :50 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 43-50(86 назв.) ГРНТИ : 29.37.25 + 47.33.37 УДК : 621.3.049.76.002.3(043) + 681.89.002.3(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)