Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР92-04830 Автор(ы) : Бокша В.В. Заглавие : Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 Выходные данные : Минск, 1992 Колич.характеристики :21 с Примечания : В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с. 18-21. ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)