Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР90-013610 Автор(ы) : Левин А.Ю. Заглавие : Разработка экспресс-методик контроля и оптимизации процесса ионной имплантации малых доз в производстве СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : Воронеж, 1990 Колич.характеристики :20 с.: ил. Примечания : В надзаг. : Воронеж. гос. ун-т им.Ленин. комсомола. Библиогр.:с. 19-20(13 назв.) ГРНТИ : 47.13.35 УДК : 621.3.049.771.14.002:669.046.516(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)