Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР90-018359 Автор(ы) : Тригуб В.И. Заглавие : Разработка основных элементов технологического процесса, позволяющих интенсифицировать формирование рисунка фотошаблонов СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : М., 1990 Колич.характеристики :28 с.: ил. Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 27-28(8 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)