Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР90-018488 Автор(ы) : Баранов В.В. Заглавие : Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидсодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : М., 1990 Колич.характеристики :51 с. Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 44-51(106 назв.) ГРНТИ : 47.01.81 УДК : 621.3.049.77.002:658.562(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)