Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР90-011080 Автор(ы) : Яшин К.Д. Заглавие : Формирование субмикронных кремнийсодержащих пленок химическим осаждением из газовой фазы в технологии изготовления СБИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : Минск, 1990 Колич.характеристики :25 с. Примечания : В надзаг. : Мин. радиотехн. ин-т. Библиогр.:с. 19-25(60 назв.) ГРНТИ : 47.13.11 + 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)