Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-05721 Автор(ы) : Нечипоренко А.П. Заглавие : Исследование и разработка процессов формирования проводящих пленок из ПГС, включающей галогениды металлов и водород, при пониженном давлении в реакционном объеме : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 Выходные данные : М., 1991 Колич.характеристики :32 с.: ил. Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 30-32(11 назв.) ГРНТИ : 50.13 УДК : 004.38'1(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)