Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР91-09550 Автор(ы) : Шелепин Н.А. Заглавие : Исследование свойств и характеристик структур полупроводник-диэлектрик-полупроводник и разработка конструктивно-технологических методов повышения быстродействия БИС на их основе : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 Выходные данные : М., 1990 Колич.характеристики :32 с.: ил. Примечания : В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 30-32(17 назв.) ГРНТИ : 47.33.31 УДК : 621.3.049.771.14(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)