|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР02-9260
Автор(ы) : Панфилов И.В.
Заглавие : Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06
Выходные данные : М., 2002 Колич.характеристики :22 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 22
ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|