Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР02-9260 Автор(ы) : Панфилов И.В. Заглавие : Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.06 Выходные данные : М., 2002 Колич.характеристики :22 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 22 ГРНТИ : 29.19.31 УДК : 537.311.322:548.5(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)