Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР02-9119 Автор(ы) : Путря М.Г. Заглавие : Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01 Выходные данные : М., 2002 Колич.характеристики :53 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 43-53(63 назв.) ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14.002(043) Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)