|
Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : АР02-9119
Автор(ы) : Путря М.Г.
Заглавие : Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами
: Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук :05.27.01
Выходные данные : М., 2002 Колич.характеристики :53 с.:
ил.
Примечания : Библиогр.: с. 43-53(63 назв.)
ГРНТИ : 47.13.33 УДК : 621.3.049.771.14.002(043)
Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)
|
|